上海頻標(biāo)科技有限公司
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詳細(xì)摘要： SW系列晶圓對準(zhǔn)/鍵合/解鍵合設(shè)備可應(yīng)用于多個領(lǐng)域，包括MEMS、功率器件、圖像傳感器、封裝（3D-TSV、WLP）和化合物半導(dǎo)體（LED、RF器件）等。其中，...
產(chǎn)品型號：所在地：更新時間：2025-03-30 在線留言
詳細(xì)摘要： 平臺特性 集成式5 軸平臺，正交性設(shè)計 全局平面度、直線度達(dá)微米級 機械導(dǎo)軌與氣浮導(dǎo)軌的復(fù)合應(yīng)用X/Y 軸 無線纜擾動力設(shè)計 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導(dǎo)軌，提供的雙向重...
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含堆疊式XYZ Stage、堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ...
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詳細(xì)摘要： 平臺特性 集成式3 軸平臺，正交性設(shè)計 全局平面度、直線度達(dá)微米級X 軸 高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌 無線纜擾動力設(shè)計Z 軸 垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度 ...
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含：雙Z 軸多軸微動臺（Z3T-Dz Stage）、單Z 軸多軸微動臺（Z3T-Sz Stage）
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含扁平ZT 臺（MZT-10 Stage）、大行程ZT 臺（MZT-25 Stage）、高性能ZT 臺（MZT-24-CRG Stage）
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含：平面集成式XY 臺（Planar-Series XY Stage）、平面中空式XY 臺（Planar-Series XY Stage）
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詳細(xì)摘要： 平臺特性 兩軸360°無限制旋轉(zhuǎn)萬向節(jié)系統(tǒng) 高動態(tài)響應(yīng)、非接觸力矩電機驅(qū)動 高剛度、高精度交叉滾子軸承設(shè)計 內(nèi)置長壽命的導(dǎo)電滑環(huán)平臺概要二維精密轉(zhuǎn)臺采用了大尺寸...
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詳細(xì)摘要： 平臺特性 高動態(tài)響應(yīng)、非接觸直線電機驅(qū)動 高精度的線性光學(xué)編碼器反饋 高剛度、高精度的循環(huán)滾柱導(dǎo)軌設(shè)計 極為優(yōu)異的定位精度和重復(fù)性表現(xiàn)平臺概要交叉十字XY 臺采...
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詳細(xì)摘要： 該系列產(chǎn)品包含氣浮重力補償垂向臺（ALGZ-60a Stage）、磁浮重力補償垂向臺（MZ-10 Stage）、重載垂向臺（MTZ-25 Stage）
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詳細(xì)摘要： 概要：單軸直線運動臺采用了緊湊扁平的設(shè)計思想。能實現(xiàn)水平向高精度、高剛度直線運動。可廣泛應(yīng)用于激光切割、半導(dǎo)體、平板顯示、自動化等領(lǐng)域。
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詳細(xì)摘要： 包含機械轉(zhuǎn)臺（MRDS-180 Stage）、氣浮轉(zhuǎn)臺（ARDS-180 Stage）
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詳細(xì)摘要： R-301系列作為高精度360 度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直驅(qū)控制，具備優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。R 系列轉(zhuǎn)臺采用杰出的工業(yè)化設(shè)計，適用于空間緊湊型應(yīng)用。具備側(cè)向...
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詳細(xì)摘要： V-305 系列是納米級定位精度的垂直運動Z 向平臺，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測和封裝、外形輪廓測量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因...
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詳細(xì)摘要： 快速、緊湊、高精度 行程達(dá)±17 毫米 / ±21度 負(fù)載容量達(dá)5 公斤 重復(fù)精度達(dá)±0.06 微米 速度達(dá)20 毫米...
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詳細(xì)摘要： 多軸精密氣浮運動臺用于精密測量，它是集制造、自動控制、電子、光學(xué)、圖形圖像及計算機技術(shù)為一體的綜合性交叉學(xué)科，于精密加工緊密聯(lián)系在一起。二次元影像測量儀適用于工...
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詳細(xì)摘要： 包含音圈電機模組（VCM Module）、盤式電機模組（AFM Module）、動鐵直線電機模組（MIL Module）
產(chǎn)品型號：所在地：更新時間：2025-03-30 在線留言
詳細(xì)摘要： 音圈電機（Voice Coil Motor）是一種基于洛倫茲原理的直線電機，具有簡單結(jié)構(gòu)，體積小，加速度高和響應(yīng)快等特點，廣泛應(yīng)用于超精密定位系統(tǒng)中，在半導(dǎo)體制...
產(chǎn)品型號：所在地：更新時間：2025-03-24 在線留言您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
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